韓國TK SCT超高純在線式氣體過濾器

產品參數

上架時間:

2011/7/30 18:50:00

商品簡述:

TKSCT氣體過濾器系列有: 哈式合金氣體過濾器/不銹鋼氣體過濾器/PTFE氣體過濾器/IGS氣體過濾器/陶瓷氣體過濾器  

產品描述

  TKSCT氣體過濾器系列有:

  哈式合金氣體過濾器、不銹鋼氣體過濾器、PTFE氣體過濾器、IGS氣體過濾器、陶瓷氣體過濾器

  材質結構:

  超高純在線式過濾器 ■哈式合金氣體過濾器全哈氏合金結構 ■ 高溫及動態壓力測試 ■不銹鋼氣體過濾器全316L不銹鋼結構  ■ 尺寸緊湊,可變的末端連接 ■ PTFE氣體過濾器濾芯為PTFE材質,本體材質為316L,內部電解拋光 ■ IGS氣體過濾器具有高可靠性耐沖擊和震動 ■陶瓷氣體過濾器內部為316L 電解拋光處理,產品廣泛應用于化學品行業。

  產品特性:

  ? 流量大,12-800SLPM

  ? 受腐蝕的部位采用哈氏合金,適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體

  ? 卓越的性能滿足大多數半導體工藝氣體

  ? PTFE材料具備良好的抗腐蝕性能及兼容性

  ? 過濾等級為0.0025μm,即使在高流速的情況下,也不會引起出口端壓力的下降

  ? 內部拋光等級為5Ra,防止其內部污染

  ? 通過高溫氮氣及去離子水清潔,滿足半導體行業的標準

  ? 清潔及包裝在100級潔凈室內

  ? 100%氦氣檢測

  

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